Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.183-184
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Improvement of wafer removal uniformity by edge profile control

웨이퍼의 에지 형상 제어를 통한 연마 균일도 향상

최성하 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
정호빈 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
박영봉 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
김형재 (한국생산기술연구원 동남권지역본부) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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