Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2011.06a
- /
- Pages.39-40
- /
- 2011
- /
- 2005-8446(pISSN)
High Power Femtosecond Pulse Laser System for Non-thermal Wafer Dicing
웨이퍼 비열 가공을 위한 고출력 펨토초 펄스 레이저 시스템
- Han, S.H. (KAIST) ;
-
Kim, Y.S.
(KAIST) ;
- Kim, S.M. (KAIST) ;
-
Park, S.
(KAIST) ;
- Park, J. (KAIST) ;
-
Kim, S.W.
(KAIST)
- 한승회 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
-
김윤석
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 김승만 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
-
박상욱
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 박지용 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
-
김승우
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단)
- Published : 2011.06.01