Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.02a
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- Pages.357-358
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- 2011
Characterization and process of Parylene polymer film for high transparent film, water barrier property
- Lee, Du-Won (BMR Technology Corporation) ;
- Guk, Yun-Bong (BMR Technology Corporation) ;
- Hong, Tae-Gwon (BMR Technology Corporation)
- Published : 2011.02.09
Abstract
Dichloro-(2,2)-paracyclophane을 출발 물질로 하여 화학기상증착법(CVD)을 이용해 우수한 투명성과 수분 투과성을 갖는 poly(p-xylylene) 코팅 막을 얻었다. 상기 코팅 막을 얻기 위한 최적의 공정 조건은 Deposition Pressure 0.02~0.04Torr, Vaporization temperature