한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.175-175
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- 2011
VWOx 볼로미터 센서 박막의 특성 연구
- 김진혁 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 신광수 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 김효진 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 고항주 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 남성필 (경상대학교) ;
- 이성갑 (경상대학교) ;
- 한명수 (한국광기술원 광에너지연구센터)
- Kim, Jin-Hyeok ;
- Sin, Gwang-Su ;
- Kim, Hyo-Jin ;
- Go, Hang-Ju ;
- Nam, Seong-Pil ;
- Lee, Seong-Gap ;
- Han, Myeong-Su
- 발행 : 2011.02.09
초록
인체감지 적외선 센서로 사용되는 마이크로볼로미터 센서 감지재료인