한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.116-116
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- 2011
a-Si TFT 제작시 RF-power 가변에 따른 전기적 특성
- 백경현 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 정성욱 (하이닉스 반도체 연구소) ;
- 장경수 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 유경열 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 안시현 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 조재현 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 박형식 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과) ;
- 이준신 (성균관대학교 전자전기컴퓨터 공학과)
- Baek, Gyeong-Hyeon ;
- Jeong, Seong-Uk ;
- Jang, Gyeong-Su ;
- Yu, Gyeong-Yeol ;
- An, Si-Hyeon ;
- Jo, Jae-Hyeon ;
- Park, Hyeong-Sik ;
- Lee, Jun-Sin
- 발행 : 2011.02.09
초록
오늘날 표시장치는 경량, 고밀도, 고해상도 대면적화의 요구에 의해 TFT-LCD의 발전이 이루어졌다. TFT에는 반도체 재료로서, Poly-Si을 사용하는 Poly-Si TFT와 a-Si:H를 이용하는 a-Si;H TFT가 있는데 a-Si는