한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.99-99
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- 2011
열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
- 심은희 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이초은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 고지현 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 정의완 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이진용 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이영민 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김득영 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 윤형도 (전자부품연구원 그린 에너지연구센터) ;
- 최효석 (충남대학교 물리학과) ;
- 김문덕 (충남대학교 물리학과)
- Sim, Eun-Hui ;
- Lee, Cho-Eun ;
- Go, Ji-Hyeon ;
- Jeong, Ui-Wan ;
- Lee, Jin-Yong ;
- Lee, Yeong-Min ;
- Kim, Deuk-Yeong ;
- Yun, Hyeong-Do ;
- Choe, Hyo-Seok ;
- Kim, Mun-Deok
- 발행 : 2011.02.09
초록
마그네트론 스퍼터 법으로 Al2O3 기판 위에 ZnO 박막을 성장하여 열처리 온도에 따른 광학적 특성 변화를 Raman 분광법 및 photoluminescence (PL) 분광법으로 분석하였다. 박막 성장시 기판의 온도는