Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.02a
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- Pages.67-67
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- 2011
Pulsed DC $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 선택적 식각에 관한 연구
- Choe, Gyeong-Hun ;
- Kim, Jin-U ;
- No, Gang-Hyeon ;
- Sin, Ju-Yong ;
- Park, Dong-Gyun ;
- Song, Han-Jeong ;
- Lee, Je-Won
- 최경훈 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 김진우 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 노강현 (인제대학교 나노시스템공학과/나노 메뉴팩쳐링연구소) ;
- 신주용 (인제대학교 나노시스템공학과/나노 메뉴팩쳐링연구소) ;
- 박동균 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 송한정 (인제대학교 나노시스템공학과/나노 메뉴팩쳐링연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 나노시스템공학과/나노 메뉴팩쳐링연구소)
- Published : 2011.02.09
Abstract
Pulsed DC