Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2011.10a
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  • Pages.758-759
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  • 2011
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

The Selection Method of Vibration Criteria for Semi-conductor and Display Equipment

반도체 디스플레이 장비의 진동 허용 규제치 선정 방법

  • 이홍기 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 안채헌 (한국생산기술연구원) ;
  • 김주영 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 백재호 (알엠에스 테크놀러지(주))
  • Published : 2011.10.27
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Abstract

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