한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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- 2011
SOD 온도 가변을 이용한 결정질 태양전지 특성 연구
A study on property of crystalline silicon solar cell for variable annealing temperature of SOD
- 발행 : 2011.05.26
초록
결정질 태양전지에서 도핑(Doping)은 반도체(Semiconductor)의 PN 접합(Junction)을 형성하는 중요한 역할을 한다. 도핑은 반도체에 불순물(Dopant)을 주입하는 공정으로 고온에서 진행되며 온도는 중요한 변수(Parameter)로 작용한다. 본 연구에서는 여러 가지 도핑 방법 중 SOD(Spin-On Dopant)를 이용하여 온도에 따른 도핑 결과와 특성을 분석 하였다. P-type 웨이퍼(Wafer)에 SOD를 이용하여 불순물을 증착 후 Hot-plate에서 15분간 Baking 하였다. Baking된 웨이퍼는 노(Furnace)에 넣고