한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.301-301
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- 2010
개방관 가스 유입방식과 고체 열처리방식에 따른 InP 에피로의 Zn 확산 분포 변화
- 김효진 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 김성민 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 김두근 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 김선훈 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 기현철 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 고항주 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 한명수 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 김회종 (광전소자연구센터, 한국광기술원) ;
- 한승엽 (포토디텍터 소자팀, (주) 우리로광통신) ;
- 박찬용 (포토디텍터 소자팀, (주) 우리로광통신)
- Kim, Hyo-Jin ;
- Kim, Seong-Min ;
- Kim, Du-Geun ;
- Kim, Seon-Hun ;
- Gi, Hyeon-Cheol ;
- Go, Hang-Ju ;
- Han, Myeong-Su ;
- Kim, Hoe-Jong ;
- Han, Seung-Yeop ;
- Park, Chan-Yong
- 발행 : 2010.08.18
초록
2010년경 2.5G APD 시장은 3, 000억원 규모로 증가하는데 이는 FTTH 망의 확산에 힘입은 바 크다. 이와 같이 중요한 APD 소자는 현재 광통신 부품시장을 석권해 가고 있는 대만, 중국 업체들은 제조기술을 갖고 있지 않고 주로 미국-일본 기술에 의존하고 있기 때문에 Niche market으로 중요한 부품이라 할 수 있다. APD의 증폭은 높은 전기장에 의해 얻어지는데, 이 때문에 메사형 구조로는 신뢰성을 확보하기 어렵게 되고 따라서 평면형(Planar) 구조로 설계-제작하게 된다. APD 소자는 증폭층의 너비에 의해 APD의 이득-대역폭이 정해지므로 증폭층 폭을 정확하게 조절하는 것은 매우 중요하다. 증폭층의 폭은 에피 성장과 같은 높은 정밀성을 갖는 장비에 의해 조절하는 것이 아니라, Planar 구조의 특성상 Zn-확산에 의해 조절하게 된다. 대부분의 경우 Zn-확산은 Zn 또는
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