Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

BZO 박막의 플라즈마 처리에 대한 광학적 밴드갭 변화

  • 강정욱 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 손찬희 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 유하진 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 박인규 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 윤명수 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 조태훈 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 권민수 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 조원태 (주성엔지니어링(주) / Thin film solar cell team) ;
  • 박상기 (주성엔지니어링(주) / Thin film solar cell team) ;
  • 최은하 (광운대학교, 전자물리학과) ;
  • 권기청 (광운대학교, 전자물리학과)
  • Published : 2010.08.18
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Abstract

ZnO TCO 박막은 후반사막과 전면전극의 물질으로써, 태양전지의 효율을 증가시킬수 있는 중요한 역할을 하고 있다. 특히 Boron 을 도핑한 BZO 박막은 가시광대 영역에서 높은 투명도를 보여준다. Soda Lime glass 위에 MOCVD를 이용하여 증착한 BZO 박막에 대해서, 플라즈마 처리에 의한 광학적 변화를 알아 보았다. 산소 또는 수소 분위기에서 플라즈마 처리를 하였고, 그에 따른 공정 조건 중 RF 전력, 압력, 시간을 제어했다. 이에 따라 ZnO 박막의 광학적 특성의 분석을 통해서 플라즈마 처리에 따른 흡수도와 밴드갭의 변화를 볼 수 있었다.

Keywords