한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.253-253
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- 2010
MONOnS 각 layer층의 두께에 따른 특성
- 백경현 (성균관대학교) ;
- 정성욱 (성균관대학교) ;
- 장경수 (성균관대학교) ;
- 박형식 (성균관대학교) ;
- 유경열 (성균관대학교) ;
- 이원백 (성균관대학교) ;
- 이준신 (성균관대학교)
- Baek, Gyeong-Hyeon ;
- Jeong, Seong-Uk ;
- Jang, Gyeong-Su ;
- Park, Hyeong-Sik ;
- Yu, Gyeong-Yeol ;
- Lee, Won-Baek ;
- Lee, Jun-Sin
- 발행 : 2010.08.18
초록
유리 기판 상에 시스템 온 패널과 같은 차세대 디스플레이 구현과 평판형 디스플레이의 문제점 해결을 위하여 비휘발성 메모리 소자 등의 전자 소자 집적화와 빠른 구동 속도를 가진 박막트랜지스터가 요구된다. 본 논문에서는 비휘발성 메모리 소자에서 MONOnS 각 layer층의 두께 따른 특성에 대한 연구를 진행하였다. 실험은 ONO 구조를 12.5nm/35nm/2.7nm, 12.5nm/20nm/2.3nm, 8.5nm/10nm/2.3nm, 6.5nm/10nm/1.9nm 의 두께로 증착하였다.
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