Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.253-253
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- 2010
MONOnS 각 layer층의 두께에 따른 특성
- Baek, Gyeong-Hyeon ;
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Jeong, Seong-Uk
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Jang, Gyeong-Su
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Park, Hyeong-Sik
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- Yu, Gyeong-Yeol ;
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Lee, Won-Baek
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Lee, Jun-Sin
- 백경현 (성균관대학교) ;
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정성욱
(성균관대학교)
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장경수
(성균관대학교)
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박형식
(성균관대학교)
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- 유경열 (성균관대학교) ;
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이원백
(성균관대학교)
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이준신
(성균관대학교)
- Published : 2010.08.18
Abstract
유리 기판 상에 시스템 온 패널과 같은 차세대 디스플레이 구현과 평판형 디스플레이의 문제점 해결을 위하여 비휘발성 메모리 소자 등의 전자 소자 집적화와 빠른 구동 속도를 가진 박막트랜지스터가 요구된다. 본 논문에서는 비휘발성 메모리 소자에서 MONOnS 각 layer층의 두께 따른 특성에 대한 연구를 진행하였다. 실험은 ONO 구조를 12.5nm/35nm/2.7nm, 12.5nm/20nm/2.3nm, 8.5nm/10nm/2.3nm, 6.5nm/10nm/1.9nm 의 두께로 증착하였다.
Keywords