한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.159-159
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- 2010
펄스 직류 전원 $BCl_3$ /He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
- 최경훈 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 김진우 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 노강현 (인제대학교 나노시스템공학과/나노기술응용연구소) ;
- 신주용 (인제대학교 나노시스템공학과/나노기술응용연구소) ;
- 박동균 (인제대학교 정보통신시스템학) ;
- 조관식 (인제대학교 나노시스템공학과/나노기술응용연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 나노시스템공학과/나노기술응용연구소)
- Choe, Gyeong-Hun ;
- Kim, Jin-U ;
- No, Gang-Hyeon ;
- Sin, Ju-Yong ;
- Park, Dong-Gyun ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Lee, Je-Won
- 발행 : 2010.08.18
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