한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.136-136
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- 2010
Spectrum Analyzer를 통한 미세 방전 플라즈마 밀도측정
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조태훈
(광운대학교 전자물리학과) ;
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윤명수
(광운대학교 전자물리학과) ;
- 박인규 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 유하진 (광운대학교 전자물리학과) ;
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최은하
(광운대학교 전자물리학과) ;
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조광섭
(광운대학교 전자물리학과) ;
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권기청
(광운대학교 전자물리학과)
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Jo, Tae-Hun
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Yun, Myeong-Su
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- Park, In-Gyu ;
- Yu, Ha-Jin ;
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Choe, Eun-Ha
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Jo, Gwang-Seop
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Gwon, Gi-Cheong
- 발행 : 2010.08.18
초록
일반적인 플라즈마의 밀도측정에는 랑뮤어(Langmuir)탐침법이 보편적으로 사용되고 있다. 그러나 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 등 미세 방전 플라즈마는 이러한 방법으로는 측정이 너무 어려워서 잘 사용되지 않고 있다. 그래서 이러한 경우 간접측정 방법이 사용되고 있다. 본 연구에서는 알려진 간접 측정방법과는 다른 방식인 spectrum analyzer를 사용하여 측정해 보았다. LCD에서 사용되는 BLU(Back Light Unit)lamp와 PDP panel을 각각 측정하여 기존의 간접측정 방법의 결과와 비교해 보았다.
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