Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.113-113
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- 2010
$NH_3/N_2/SiH_4$ 유도결합 플라즈마 방전에서 중성종 및 활성종의 플라즈마 변수 의존성 분석
Abstract
최근 태양전지 제작 등에 응용되고 있는
Keywords