한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.40-40
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- 2010
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 $H_2$ 및 CO의 부분압 분석
- 임한나 (한국표준과학연구원) ;
- 신진호 (한국표준과학연구원) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원) ;
- 정수환 (경북대학교 화학공학과) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원)
- Im, Han-Na ;
- Sin, Jin-Ho ;
- Kim, Jin-Tae ;
- Jeong, Su-Hwan ;
- Gang, Sang-U ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Sin, Yong-Hyeon
- 발행 : 2010.08.18
초록
사중극 질량 분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS)는 높은 정확도와 사용이 쉬운 장점으로 인해 반도체 및 디스플레이 산업 등의 진공공정에서 잔류가스를 측정하고 분석하는 기기로써 반도체 및 디스플레이 소자제조를 위한 공정 진단에서 많이 사용되고 있다. 특히 고진공으로 내려가면서 리크 디텍션(leak detection)과 미세 량의 잔류기체 감지가 더욱더 요구되며 특히
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