Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference (한국추진공학회:학술대회논문집)

  • 2010.11a
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  • Pages.781-783
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  • 2010
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  • 1975-342X(pISSN)
The Korean Society of Propulsion Engineers (한국추진공학회)
권호 표지

Chonbuk National University 60kW and 200kw ICP(RF) Plasma systems for Advance Material processing

전북대학교 소재공정용 60kW 및 200kW ICP(RF) 플라즈마 발생 장치 구축 현황

  • 이미연 (전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터) ;
  • 김정수 (전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터) ;
  • 서준호 (전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터) ;
  • 최성만 (전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터) ;
  • 홍봉근 (전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터)
  • Published : 2010.11.25
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Abstract

Chonbuk national university High-enthalpy plasma research center is under construction for 60kW and 200kw ICP(RF) Plasma system as Advance Material R&D and production equipment. The 60kW & 200kW ICP(RF) plasma systems will contribute to promote Korea's material industrial development and Thermal plasma technology.

전북대학교 고온 플라즈마 응용 연구 센터 구축사업단은 교육과학기술부 기초연구사업 중 고가연구장비 구축사업을 통하여 고부가가치 재료 연구 및 시험생산이 가능한 소재공정용 60kW 와 200kW ICP(RF) 플라즈마 발생장치를 구축하고 있다. 나노분말소재의 합성과 플라즈마 용사 코팅이 가능한 대형 ICP(RF) 플라즈마 장치 구축을 통하여 차세대 전자 부품 소재의 개발 및 고온 플라즈마 기술의 산업화에 이바지 하고자 한다.

Keywords