Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)
- 2010.11b
- /
- Pages.638-641
- /
- 2010
A double-bent planar leaf flexure for a nano-scanner
나노 스케너용 더블-벤트 유연가이드에 대한 연구
- Park, Eun-Joo (School of Mechanical Engineering) ;
- Lee, Young-Hyoung (School of Mechanical Engineering) ;
-
Lee, Dong-Yeon
(Yeungnam University)
- Published : 2010.11.12
Abstract
본 논문에서는 나노 분해능을 가지면서 수mm의 이송능력을 가지는 AFM용 스캐너의 구현을 위하여 새로운 형태의 더블-벤트 유연 가이드를 연구하였다. Castigliano 이론을 이용하여 유연 가이드의 강성을 구하였으며, 모든 과정은 FEA(Finite Element Analysis)를 통하여 이론의 타당성을 검증하였다. 또한, 더블-벤트 유연 가이드의 성능 검증을 위하여 평면 스캐너의 모델링에 응용하여 보았다. 응용된 평면 스캐너의 구성 요소 성분 변수들은 Double-bent 유연 가이드의 나노 분해능 및 이송 변위의 최대화를 구현함과 동시에 빠른 응답 속도를 보장하기 위해 최적화 설계를 통하여 이루어졌다. 더블-벤트 유연 가이드를 적용한 평면 스캐너 역시 FEA를 통한 검증 단계를 거쳤다.
Keywords