한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)
- 한국산학기술학회 2010년도 추계학술발표논문집 2부
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- Pages.555-558
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- 2010
차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리 시스템 아키텍처 구축에 대한 연구
Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fab
- 박유진 (중앙대학교 사회과학대학 상경학부 경영학과) ;
- 박영수 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과) ;
- 허선 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과) ;
- 이현 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과)
- Park, You-Jin (Dept. of Business Administration, Chung-Ang University) ;
- Park, Young-Soo (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University) ;
- Hur, Sun (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University) ;
- Lee, Hyun (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University)
- 발행 : 2010.11.12