Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fab

차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리 시스템 아키텍처 구축에 대한 연구

  • Park, You-Jin (Dept. of Business Administration, Chung-Ang University) ;
  • Park, Young-Soo (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University) ;
  • Hur, Sun (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University) ;
  • Lee, Hyun (Dept. of Industrial and Management System, Hanyang University)
  • 박유진 (중앙대학교 사회과학대학 상경학부 경영학과) ;
  • 박영수 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과) ;
  • 허선 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과) ;
  • 이현 (한양대학교 공학대학 산업경영공학과)
  • Published : 2010.11.12
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Abstract

차세대 반도체 산업은 제조공정의 미세화, 복잡화, 다단계화 등이 심화되고 이로 인해 제조원가의 절감을 위한 단위 Wafer당 보다 많은 칩을 생산할 수 있는 450mm 웨이퍼의 도입을 반드시 필요로 한다. 본 논문에서는 클러스터 툴을 주로 사용하는 450mm 웨이퍼 수율관리 개선 시스템의 구현방향과 상세 기능과 각 모듈에 대한 연구를 수행하였으며, 450mm 웨이퍼 생산체제 하에서 필요한 수율관리시스템인 RTFMD 시스템을 제안 하였다.

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