Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2010.10a
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  • Pages.582-583
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  • 2010
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

Vibration Measurement of Ingot Grower for Reducing Production Yield Caused by Main Excitation of the Equipment

실리콘 잉곳의 수율향상을 위한 생산설비 주요 진동원의 영향 분석

  • 허영철 (한국기계연구원 시스템엔지니어링연구본부) ;
  • 정종안 (한국기계연구원 시스템엔지니어링연구본부) ;
  • 이근우 ((주)세미머티리얼즈 기술연구소)
  • Published : 2010.10.27
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Abstract

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