한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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Pages.497-498
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2010
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1598-2548(pISSN)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)

권호 표지

반도체 공정용 3 자유도 미진동 해석

Analysis of 3DOF Micro Vibration for Semiconductor Manufacturing

김형태 (한국생산기술연구원 생산시스템연구부) ;
김철호 (한국생산기술연구원) ;
이강원 (한국생산기술연구원) ;
이규섭 (RMS 테크놀러지)

발행 : 2010.10.27

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