Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.785-786
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Vibration control of nanoscanner considering jerk force of the motion profile for AFM

Motion profile의 jerk force를 고려한 원자 현미경용 나노스캐너의 진동 제어

  • 정종규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 염우섭 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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