Reliability of single crystal silicon film transferred on PI substrate

PI 기판에 전사된 단결정 실리콘 박막의 유연 신뢰성

  • 은경태 (서울산업대학교 NID 융합대학원) ;
  • 좌성훈 (서울산업대학교 NID 융합대학원) ;
  • 황우진 (서울산업대학교 NID 융합대학원) ;
  • 최현주 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 김재현 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
  • Published : 2010.05.26