한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

점착력 제어가 가능한 공압 벌룬 엑추에이터 기반 전사공정용 PDMS 스탬프

Adhesion Adjustable PDMS Stamp using Micro Balloon Actuator for Transfer Method of Microdevices

  • 박찬진 (강원대학교 기계메카트로닉스공학과) ;
  • 김병희 (강원대학교 기계메카트로닉스공학과) ;
  • 서영호 (강원대학교 기계메카트로닉스공학과) ;
  • 김광섭 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 김재현 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
  • 발행 : 2010.05.26
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