Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.663-664
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Bonding Quality Evaluation of Hybrid Oxide Bonding using Self-Alignment

자가정렬을 이용한 하이브리드 Oxide 본딩의 접합 특성 평가

  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 이재학 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 하태호 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 이창우 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 유중돈 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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