Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.523-524
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Release Layer Coater with Stamp for Nano/Micro Optical Devices and Characteristics Evaluation

나노/마이크로 광소자용 스탬프 이형 장치및특성 평가

  • 이문재 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 조천수 (부산대학교 지능기계시스템공학과) ;
  • 류진화 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 오지인 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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