갈륨 이온 주입을 이용한 나노 구조물 제작의 메카니즘 연구

A study on mechanism of nanostructure fabrication using Ga ion implantation

  • 한진 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이상조 (연세대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2010.05.26