Acknowledgement
Supported by : 한국연구재단
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2010.06a
- /
- Pages.136-136
- /
- 2010
Film Thickness Control of Polydimethylsiloxane for Transfer of Si Wire Arrays
실리콘 와이어 어레이 이송를 위한 폴리디메틸실록산 박막 두께 조절
- Lee, Sun-Yi (Daegu Gyeongbuk Institute of Sciencd & Technology) ;
- Baek, Seong-Ho (Daegu Gyeongbuk Institute of Sciencd & Technology) ;
-
Kim, Jae-Hyun
(Daegu Gyeongbuk Institute of Sciencd & Technology)
- Published : 2010.06.16
Abstract
본 연구에서는 귀금속 촉매 식각법을 이용하여 고효율의 태양전지 응용을 위한 p형 실리콘 와이어 어레이를 제조 하였다. 실리콘 와이어 어레이를 기판에서 분리하기 위해 고무 상의 고분자인 폴리디메틸실록산 (polydimethylsiloxane)을 스핀 코팅을 이용하여 실리콘 와이어 어레이 위에 증착하였다. 희석제의 함량과 스핀코팅의 회전수에 따라 폴리디메틸실록산의 박막두께를 조절하였으며, 기계적 방법으로 실리콘 와이어 어레이를 기판에서 분리할 수 있음을 보여주었다.