Low Voltage Operating OTFT with Hybrid Dielectrics

  • Hwang, Jin-A (Dept. of Chemistry, Kyung Hee University) ;
  • Lee, Jin-Ho (Dept. of Display Materials Engineering, Kyung Hee Univeristy) ;
  • Lee, Eun-Ju (Dept. of Display Materials Engineering, Kyung Hee Univeristy) ;
  • Kim, Yeon-Ok (Dept. of Display Materials Engineering, Kyung Hee Univeristy) ;
  • Kim, Hong-Doo (Dept. of Display Materials Engineering, Kyung Hee University)
  • 황진아 (경희대학교 화학과) ;
  • 이진호 (경희대학교 디스플레이재료공학과) ;
  • 이은주 (경희대학교 디스플레이재료공학과) ;
  • 김연옥 (경희대학교 디스플레이재료공학과) ;
  • 김홍두 (경희대학교 디스플레이재료공학과)
  • Published : 2010.06.16

Abstract

유기박막트랜지스터의 특성을 개선하기 위해서는 유기반도체와의 좋은 접합과 유전상수가 주요한 요인으로 작용한다. 무기 산화물 전구체와 유기고분자를 이용하여 유기 고분자의 단정인 낮은 유전율을 개선하였다. 스핀코팅 방법이 아닌 딥코팅 방법을 이용하여 절연막 두께를 10nm정도로 낮추어 구동전압을 개선하였으며 무기 절연체의 높은 누설전류 또한 그 특성이 개선되어 우수한 절연 특성을 보였다. 유-무기 복합체를 이용한 게이트 절연막과 펜타센을 이용한 유기박막트랜지스터의 구동전압은 1V정도에서 구동가능하며, 점멸비, 이동도 모두 개선된 결과를 보였다.

Keywords