연속체 빔 이론을 이용한 MEMS accelerometer 모델링 및 성능특성 분석

MEMS accelerometer modeling and performance analysis by using continuous beam theory

  • 김용일 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 유홍희 (한양대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2010.05.11