Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.626-627
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  • 2010
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

MEMS accelerometer modeling and performance analysis by using continuous beam theory

연속체 빔 이론을 이용한 MEMS accelerometer 모델링 및 성능특성 분석

  • 김용일 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 유홍희 (한양대학교 기계공학부)
  • Published : 2010.05.11
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Abstract

Keywords