Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
  • /
  • Pages.624-625
  • /
  • 2010
  • /
  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

The formation of equivalent stiffness models concerning nano-imprinting stages using laser-vibrometers and multibody dynamics programs

레이져 바이브로 미터와 다물체 동역학 프로그램을 이용한 등가 강성 스테이지 모델 구성

  • 이지성 (국민대학교 자동차공학 전문대학원) ;
  • 김규학 (국민대학교 자동차공학 전문대학원) ;
  • 정재일 (국민대학교 기계시스템공학부) ;
  • 임홍재 (국민대학교 자동차공학과)
  • Published : 2010.05.11
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords