Vibration experiments depending on exciter locations concerning nano-imprinting statges

가진 위치에 따른 나노 임프린트 스테이지의 진동실험

  • 김규학 (국민대학교 자동차공학 전문대학원) ;
  • 이지성 (국민대학교 자동차공학 전문대학원) ;
  • 정재일 (국민대학교 기계시스템공학부) ;
  • 임홍재 (국민대학교 자동차공학과)
  • Published : 2010.05.11