Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.02a
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- Pages.452-452
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- 2010
유연성 소자 적용을 위한 $SiO_x$ 보호막의 특성 평가
- Jeong, Yu-Jeong (KIMS) ;
- Jeong, Jae-Hye (KIMS) ;
-
Yun, Jeong-Heum
(KIMS) ;
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Lee, Seong-Hun
(KIMS) ;
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Lee, Geon-Hwan
(KIMS)
- 정유정 (한국기계연구원부설 재료연구소) ;
- 정재혜 (한국기계연구원부설 재료연구소) ;
-
윤정흠
(한국기계연구원부설 재료연구소) ;
-
이성훈
(한국기계연구원부설 재료연구소) ;
-
이건환
(한국기계연구원부설 재료연구소)
- Published : 2010.02.17
Abstract
차세대 디스플레이로서 주목 받고 있는 유연성 정보표시 소자 개발에 대한 요구도가 날로 증대되고 있다. 유연성 정보표시 소자로서 플라스틱 기반 유연성 소자가 특히 주목 받고 있으나, 이의 실용화를 위해서는 플라스틱 기판에 적용 가능한 보호막 형성 기술 개발이 선행되어야 한다. 플라스틱 필름의 경우 높은 산소 및 수분 투과율 때문에 유연성 디스플레이의 응용에 걸림돌이 되고 있다. 플라스틱 기반 유연성 소자의 장수명화를 위해서는 수분과 산소의 투과를 방지하는 passivation layer 형성 기술이 필수적으로 요구된다. 본 연구에서는, polyethylene terephethalate (PET) 기판상에 증착된
Keywords