한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.329-329
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- 2010
진공 장비용 코팅부품의 내플라즈마 특성 평가 방법
- 노승완 (대전대학교 신소재공학과) ;
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신재수
(대전대학교 신소재공학과) ;
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이창희
(혜전대학) ;
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강상우
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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김진태
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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신용현
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공센터)
- No, Seung-Wan ;
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Sin, Jae-Su
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Lee, Chang-Hui
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Gang, Sang-U
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Kim, Jin-Tae
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Sin, Yong-Hyeon
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Yun, Ju-Yeong
- 발행 : 2010.02.17
초록
반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(Anodizing), 플라즈마 용사법(Plasma spray) 등을 사용하여
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