Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.02a
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- Pages.313-313
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- 2010
DC Magnetron sputtering의 $Al_2O_3$ 2wt.% doped ZnO 박막 성장의 DC파워와 온도와의 상관관계에 대한 연구
Abstract
AZO 박막 증착에 있어 증착변수간의 상관관계에 대한 연구가 미비하였는데 이번 실험에서는 증착조건 변수 중에서 DC 파워와 온도가 박막성장의 영향과 이들의 상관관계에 대해 알아보고자 한다. 3mtorr의 압력과 150,
Keywords