한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.312-312
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- 2010
박막 태양전지의 전면층 적용을 위한 회전원통형 타겟이 장착된 DC Magnetron sputtering에서 ZnO:Al 박막 성장 조건 최적화에 관한 연구
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박형식
(성균관대학교 정보통신 공학부) ;
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이원백
(성균관대학교 정보통신 공학부) ;
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장경수
(성균관대학교 정보통신 공학부) ;
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정성욱
(성균관대학교 정보통신 공학부) ;
- 김동석 ((주) 에스엔텍 연구개발팀) ;
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이준신
(성균관대학교 정보통신 공학부)
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Park, Hyeong-Sik
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Lee, Won-Baek
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Jang, Gyeong-Su
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Jeong, Seong-Uk
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- Kim, Dong-Seok ;
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Lee, Jun-Sin
- 발행 : 2010.02.17
초록
기존의 박막태양전지 전면층으로 활용하는 Asahi glass는 증착공정 중에 발생하는 수소 플라즈마로 인해 FTO 기판의 투명전도막이 손상되어 태양전지의 효율 저하가 문제가 되었다. 이를 해결하기 위해 본 논문에서는 FTO 기판의 전면층을 대신하여 ZnO:Al 박막증착을 하기 위해서 회전원통형의 타겟이 장착된 DC magnetron sputtering을 가지고 성장을 시켰는데 증착하는데 있어 중요한 공정변수인 압력 및 온도 조건의 가변을 통해 이를 최적화하여 전면층에 활용하고 자 한다. 그래서 3mtorr의 압력과
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