한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.293-293
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- 2010
Micro blaster를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼의 표면 개선에 관한 연구
- 이윤호 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 정동건 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 조준환 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 공대영 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 서창택 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 조찬섭 (경북대학교 상주캠퍼스 산업전자전기공학부) ;
- 이종현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
- Lee, Yun-Ho ;
- Jeong, Dong-Geon ;
- Jo, Jun-Hwan ;
- Gong, Dae-Yeong ;
- Seo, Chang-Taek ;
- Jo, Chan-Seop ;
- Lee, Jong-Hyeon
- 발행 : 2010.02.17
초록
최근 태양전지 연구에서 저가격화를 실현하는 방법 중 하나로 폐 실리콘 웨이퍼를 재생하는 방법에 관하여 많은 연구가 진행되고 있다. 그러나 기존 웨이퍼 재생공정은 높은 재처리 비용과 복잡한 공정등의 많은 단점을 가지고 있다. 챔버 내에 압축된 공기나 가스에 의해 가속된 미세 파우더들이 재료와 충돌하면서 식각하는 기계적 건식 식각 공정 기술이라고 할 수 있는 micro blaster 공정을 이용하면 기존 재생공정보다 낮은 재처리 비용과 간단한 공정으로 재생웨이퍼를 제작할 수 있다. 하지만 이러한 micro blaster 공정은 식각 후 표면에 많은 particle과 crack을 형성시켜 태양전지용으로 사용하기에 단점을 가진다. 본 연구에서는 이러한 micro blaster를 이용한 태양전지용 재생 웨이퍼를 제작하기 위해 폐 실리콘 웨이퍼의 표면 물질을 식각하고, 식각 후 충돌에 의해 발생된 표면의 particle과 crack을 DRE(Damage Remove Etching)공정으로 제거하는 연구를 진행 하였다. 먼저 폐 실리콘 웨이퍼와 같은 표면을 형성하기 위하여 시편 표면에 각각 Al(
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