Design of Context-Aware System Using Multi-Sensor for Semiconductor Equipment

멀티센서를 이용한 반도체 장비의 상황인지 시스템 설계

In this paper, we propose context-aware system for semiconductor equipment that acquires information from multiple sensors in indoor environment. This proposed system acquires information from acceleration, pressure, temperature and gas sensors then the acquired information send to server. The data transmitted to server generates an alarm via context-aware algorithm of unit event and multi event. From that result, high-quality real-time monitoring is possible because of the reduced unnecessary alarms, and the efficient management is possible because the surrounding information is recognized at once.

본 논문에서는 실내 환경에서 반도체 장비 주변에 배치된 다수의 센서로부터 정보를 취득하고 취득된 정보를 바탕으로 반도체 장비의 상황을 인지하는 시스템을 제안한다. 제안하는 반도체 장비 상황인지 시스템은 가속도, 압력, 온도, 가스 센서로부터 정보를 취득하고 서버로 전송한다. 그리고 서버로 전송된 데이터는 단일이벤트와 다중이벤트의 상황인지 알고리즘을 통해 알람을 발생시킨다. 그 결과 불필요한 알람이 줄어 수준 높은 실시간 감시가 가능하고 주위의 정보를 한 번에 알 수 있어 효율적인 관리가 가능하다.