Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Mechanical, Electrical and Optical Properties of ITO/$CeO_2$ films Deposited on PI Substrate

ITO / $CeO_2$ / PI 박막의 기계적, 전기적 및 광학적 특성

  • 강용민 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 권세희 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 송풍근 (부산대학교 재료공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 투명 Polyimide 기판과 ITO 박막 사이에 다양한 두께의 $CeO_2$ 버퍼층을 증착 후 기계적, 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. $CeO_2$ 버퍼층의 두께가 증가함에 따라서 degassing 현상의 감소로 인해 전기적 특성의 개선 및 부착력의 증가를 확인할 수 있었으며, 5nm 두께의 $CeO_2$ 버퍼층이 삽입된 ITO/$CeO_2$ 박막에서 가장 우수한 기계적 특성을 확인할 수 있었다.

Keywords