Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.169-169
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- 2009
Effects of $N_2$ and C contents on color changes of Ti Composites
질소와 탄소 함량이 티타늄 화합물의 색상 변화에 미치는 영향
- Jang, Seung-Hyeon ;
- Lee, Yeong-Min ;
- Jeong, Jae-In ;
- Yang, Ji-Hun ;
- Park, Yeong-Hui ;
- Lee, Gyeong-Hwang ;
- Im, Tae-Gyun
- 장승현 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 이영민 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 정재인 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 양지훈 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 박영희 (포항산업과학연구원 마그네슘연구단) ;
- 이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
- 임태균 ((주)브이엠티)
- Published : 2009.10.14
Abstract
티타늄 화합물은 뛰어난 물리적 특성과 인체 무해성을 가지고 있어 생체, 내식 및 내마모 재료 등에 널리 응용되고 있으며, 비교적 공정이 단순하고 공정 변수 조절이 용이한 스퍼터링법으로 밀도가 높고 공극이 없는 박막을 만들 수 있다. 티타늄 화합물은 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 합성하였고, 소량의 질소와 메탄 가스의 유량 조절을 통해 화합물의 조성을 변화시켜 색을 경향성 있게 변화 시켰다.
Keywords