Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Synthesis and Microstructure of Ti-B-N by a PECVD technique

  • 홍영수 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 권세훈 (부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 최지환 (부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 김광호 (부산대학교 재료공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

PECVD를 이용하여 Ti-B-N을 증착하여 B 함량에 따른 미세구조 및 기계적 특성을 평가하였다. B의 함량은 미세구조 및 기계적 특성에 큰 영향을 미치는 것을 확인하였다.

Keywords