Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.280.1-280.1
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- 2009
극자외선(Extreme Ultraviolet) 발진을 위한 플라스마 집속장치에서의 Stark broadening을 이용한 전자온도 및 밀도진단
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Hong, Yeong-Jun
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- Gang, Min-Gyeong ;
- Gwon, Do-Yeon ;
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Gwon, Gi-Cheong
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- Sin, Hui-Myeong ;
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Choe, Eun-Ha
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홍영준
(광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터)
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- 강민경 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
- 권도연 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
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권기청
(광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터)
;
- 신희명 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
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최은하
(광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords