Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.275.2-275.2
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- 2009
Stability of gate insulator using $NH_3$ plasma
- Lee, Won-Baek ;
- Gyeong, Do-Hyeon ;
- Duy, Nguyen Van ;
- Lee, Jun-Sin
- 이원백 (정보통신소자연구실, 성균관대학교 전자전기및컴퓨터공학과) ;
- 경도현 (정보통신소자연구실, 성균관대학교 전자전기및컴퓨터공학과) ;
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- 이준신 (정보통신소자연구실, 성균관대학교 전자전기및컴퓨터공학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords