Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 유도형 대기압 플라즈마를 이용한 $SiO_2$ 식각에 관한 연구

• O, Jong-Sik ;
• Park, Jae-Beom ;
• Gil, Ellee ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 오종식 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 박재범 (성균나노과학기술원) ;
• 길엘리 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)

• Published : 2009.02.11

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