Ar 중성빔을 이용한 $ZrO_2$ 원자 층 식각

• Park, Jong-Yun ;
• Im, Ung-Seon ;
• Park, Byeong-Jae ;
• Gang, Se-Gu ;
• Park, Jae-Beom ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 박종윤 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
• 임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
• 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 강세구 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
• 박재범 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
• 염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원)

• Published : 2009.02.11

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