Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

원자층 증착법을 이용한 산화 알루미늄과 산화 타이타늄의 다층 보호막 개발 연구

  • 강병우 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 문대용 (한양대학교 나노반도체 공학과) ;
  • 김웅선 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.02.11
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