Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구

  • 민태홍 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김이연 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 강세구 (성균관대학교 나노과학기술원) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.02.11
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